深硅刻蝕工藝中心（2223室）設有兩台深硅刻蝕設備以及一台表面台階儀。
地址: 納米系統製造實驗中心(清水灣) 香港, 九龍, 清水灣 香港科技大學 2樓, 2223室 (升降機編號:23)
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