深硅刻蝕工藝中心

深硅刻蝕工藝中心（2225室）設有兩台深硅刻蝕設備。

地址:
羅台秦博士納米系統製造實驗中心
香港, 九龍, 清水灣
香港科技大學
2樓, 2225室 (升降機編號:23)