納米系統製造實驗中心(清水灣) - 第二期
納米電子製造實驗所第二期實驗室占地面積為750平方米，設有機房和無塵室。機房內設有支援無塵室運作的一切設施；無塵室提供萬級、千級和百級環境，並設有前段硅工藝所需的設備。此外，無塵室擁有完整四吋硅晶片加工處理生產線，提供光刻、熱擴散及氧化、薄膜沉積、乾/濕刻蝕、金屬化、離子注入和掩膜版製造等服務。
地址:
納米系統製造實驗中心(清水灣)
香港,九龍, 清水灣
香港科技大學
2樓, 2240室 (升降機編號:23)
納米電子製造實驗所第二期實驗室占地面積為750平方米，設有機房和無塵室。機房內設有支援無塵室運作的一切設施；無塵室提供萬級、千級和百級環境，並設有前段硅工藝所需的設備。此外，無塵室擁有完整四吋硅晶片加工處理生產線，提供光刻、熱擴散及氧化、薄膜沉積、乾/濕刻蝕、金屬化、離子注入和掩膜版製造等服務。
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納米系統製造實驗中心(清水灣)
香港,九龍, 清水灣
香港科技大學
2樓, 2240室 (升降機編號:23)