納米系統製造實驗中心(清水灣)迎新課程

想成為納米系統製造實驗中心(清水灣)用戶的人士必須先參加一系列培訓課程，包括甲部）安全培訓；丙部）污染管制與指引，以及丁部）納米系統製造實驗中心(清水灣)網站/設備預約系統培訓。納米系統製造實驗中心(清水灣)每月都會舉辦課程。 乙部）化學品安全分為兩個自修單元 - 化學安全（一）（MC07）和（二）（MC03），由健康、安全及環境處提供。

培訓課程旨在向用戶介紹無塵室環境，提高他們對工作相關安全問題的關注，讓他們熟悉納米系統製造實驗中心(清水灣)網站和設備預設系統，以及了解污染問題和實驗室的日常運作。

MC07化學品安全（一） MC03化學品安全（二）

*校外用戶如要參加，請聯絡葉沛強先生(nfpkyip@ust.hk)。

認可考試及化學品安全培訓評估

申請人完成培訓課程後，必須通過認可考試和化學品安全培訓評估，才可於納米系統製造實驗中心(清水灣)內工作。

考試包括三張試卷：

  • 卷一：安全
  • 卷二：污染管制與指引
  • 卷三：工藝流程

一般來說，考試於培訓課程後舉行。考試不合格的申請人需重讀課程，方可再次參加考試。

考試範圍如下：

卷一範圍：

  1. 無塵室環境
  2. 《化學品安全說明書》與材料限制
  3. 警報系統與緊急逃生路線
  4. 一般實驗室安全
  5. 消防和化學品安全
  6. 設備與操作安全

卷二範圍：

  1. 污染
  2. 工藝驗證指引
  3. 一般工藝要求
  4. 操作指引
  5. 設備潔淨級別與晶片狀態

卷三範圍：

  1. 卷二範圍
  2. 工藝流程標準格式

下圖說明申請成為納米系統製造實驗中心(清水灣)用戶的步驟。

納米系統製造實驗中心(清水灣)工藝流程

用戶開始進行工藝前，必須先向納米系統製造實驗中心(清水灣)提交工藝流程，以便我們評估工藝的可行性和有效地控制晶片污染風險。以下是工藝流程範例的鏈結。