納米製造演示實驗室

納米製造演示實驗室（NDL）位於3114室，是一間萬級無塵室。借助這間潔淨室，NFF(CWB)可以組織工藝培訓並支持推廣活動。 NDL 支援的製程包括光刻、濕式蝕刻、氧化、物理氣相沉積 (PVD) 以及一些基礎計量。此外，該實驗室還配備了晶圓拋光機和晶圓切割機。

地址:
羅台秦博士納米系統製造實驗中心
香港, 九龍, 清水灣
香港科技大學
3樓, 3114室 (升降機編號:19)