Equipment and Process

納米系統製造實驗中心(清水灣)的設備與工藝流程

納米系統製造實驗中心(清水灣)提供多種設備，分成不同模組，包括掩膜版製造模組、光刻模組、濕法刻蝕與化學機械研磨模組、熱加工與注入模組、乾法刻蝕與濺射模組，以及測試模組。各模組分別進行特定的工藝流程。