羅台秦博士納米系統製造實驗中心有四個獨立的實驗室，包括羅台秦博士納米系統製造實驗中心第二期、羅台秦博士納米系統製造實驗中心 - 企業中心、硅通孔工藝實驗室以及深硅刻蝕工藝中心。各實驗室為不同工藝提供一系列設備。
