羅台秦博士納米系統製造實驗中心有五個獨立的實驗室，包括羅台秦博士納米系統製造實驗中心第二期、羅台秦博士納米系統製造實驗中心 - 創新科技中心、深硅刻蝕工藝中心、納米製造演示實驗室以及工藝實驗室。各實驗室為不同工藝提供一系列設備。
