- 微粒數量
每月測量無塵室不同位置的微粒數量，以保持百級和千級無塵室的標準。
- 排氣
三部獨立排氣扇；不鏽鋼腐蝕性氣體排放系統；鍍鋅溶劑氣體排放；不鏽鋼有毒氣體排放；排氣故障警報。
- 環境監控
溫度68°F±1°F；濕度35%±相對濕度±3%；每個區域均設有數碼監控；0.1°F及1%相對濕度分辨率；冷鏡相對濕度儀作校準參考。
- 空調系統
九個空氣處理裝置（每隔間一個）；45°F校園冷水輸送到每個空氣處理裝置的線圈，以適當地控制溫度；獨立外氣空調箱以控制濕度，並有可調校風速的風扇以控制室內壓差和空氣平衡；雙全冗餘冷水機組為外氣空調箱提供32°F乙二醇冷凍水系統以控制濕度；為每個空氣處理器提供蒸汽加濕；空氣層流每分鐘100呎。
- 壓縮空氣
100磅氣壓；雙無油壓縮機；雙空氣乾燥塔；露點儀；-100°F露點；雙重過濾；每道牆均有管道輸送，並設有多個端口和使用點監管。
- 氮氣
由置於大容量LN2氣缸的霧化器產生；75磅氣壓；每道牆均有管道輸送，並設有多個端口和使用點監管。
- 去離子水
18MΩ；反滲透輸入；0.2μ過濾；每道牆壁均設有端口，以管道輸送至八部濕化工藝臺。
- 工藝真空
真空度20" Hg ；雙泵系統；每道牆均有管道輸送，並設有多個端口。
- 電氣
220V；1Ø；牆上設有三塊電線面板為桌面設備提供電源；360V；3Ø；四獨立線為大型設備提供電源；每台設備附近均設有緊急停機掣；納米系統製造實驗中心(清水灣)牆上裝有每組設備的搖距開關掣。
- 導電地板
焊縫；電極之間的電阻經測試為25kΩ至1MΩ。