納米系统製造實驗所無塵室環境

無塵室是指一個將灰塵、懸浮粒子和化學氣體等污染物的濃度均控制於特定範圍內的環境。此等污染物可由設施（如濺出和洩漏）、人（如皮屑和皮脂），甚至是研究樣品本身（例如硅片碎片）所產生。任何污染物均會嚴重影響樣品结果，因此我們需要使用無塵室。

在納米系统製造實驗所的無塵室中，空氣交換率、空氣交換方向、壓力、溫度、濕度和微粒數量均受到嚴格控制。實驗所採用高效微粒空氣（HEPA）過濾器，可去除空氣中99.9997％的直徑不小於0.3微米的微粒。外部的空氣於進入無塵室前會被先過濾，至於無塵室內部的空氣亦會不斷過濾，以除去內部污染物。

為求將無塵室內人體對研究樣品的污染減至最小，任何進入無塵室的人士必須穿整套無塵室衣物，包括頭罩、口罩、無塵室長袍、手套、鞋套和靴子，而且進入無塵室之前必須通過風淋門，以去除污染物。

納米系統製造實驗中心(清水灣)的無塵室分為三個區域：一萬級、一千級和一百級，設有五個設備模組，包括掩膜版製造模組、光刻模組、濕法刻蝕模組、濺射與乾刻模組，以及熱處理與注入模組。定期用微粒計數器監測不同區域內微粒數目，以保證達到無塵室的標準。另外，我們亦嚴格執行無塵室的使用守則，以防止污染。