安全裝置

我們的實驗室設有多種安全裝置。用戶可在我們所提供的培訓課程中認識安全裝置的位置和如何操作方法。以下是設於我們實驗室的部分安全裝置：

1. 洗眼器及安全淋浴間
2. 急救箱（內有葡萄糖酸鈣，在接觸到氫氟酸時用以治療）
3. 化學品濺出應急箱
4. 緊急求救電話簿
5. 疏散路線
6. 緊急照明
7. 個人保護裝備
8. 《化學品安全說明書》
9. 緊急安全設備
10. 滅火氈
11. 緊急求救按鈕
12. 危險氣體洩漏警報系統

個人保護裝備旨在確保實驗室用戶和職員的安全。合適的個人保護裝備放置於任何可能有危險的設備旁，如濕化工藝臺。個人保護裝備包括：

1. 面罩，用以保護面部和頸部
2. 安全眼鏡，用以保護眼睛
3. 空氣淨化呼吸器，於至少含有19.5％氧氣的充分通風環境中使用，用以防禦有害氣體和微粒。
4. 自吸式呼吸器(SCBA)，於室內空氣可能危害健康的環境或火警中使用。只有納米系統製造實驗中心(清水灣)曾接受培訓的職員，可使用該設備。

危險氣體洩漏警報系統設於納米系統製造實驗中心(清水灣)第二期，於任何有毒氣體從設備或危險氣體儲存室洩漏時發出警報。在我們實驗室中使用的化學氣體包括：

1. 硅烷（SiH4）
2. 鍺烷（GeH4）
3. 二氯硅烷（SiCl2H2）
4. 氯氣（Cl2）
5. 三氯化硼（BCl3）
6. 氨氣（NH3）
7. 50%磷化氫硅烷（50% PH3 in SiH4）
8. 砷化氫（AsH3）
9. 磷化氫（PH3）
10. 三氟化硼（BF3）

以上部分氣體有毒、具腐蝕性和易自燃，因此以氣瓶儲存，並放置於負壓儲存櫃內。危險氣體洩漏警報系統會監察氣瓶，確保沒有異常情況。如其中一個氣瓶的氣體濃度超越上限8小時，系統會發出聲音和視像警報，同時關閉氣瓶。系統亦會監控任何有電子氣體在內的設備。

實驗室內不同區域裝有六塊危險氣體洩漏警報顯示板，如其中一塊面板觸動警報系統，用戶必須依照疏散程序立即離開實驗室。