警報系統

1. 危險氣體洩漏警報系統

危險氣體洩漏警報系統設於納米系統製造實驗中心(清水灣)第二期，於任何有毒氣體從設備或危險氣體儲存室洩漏時發出警報。實驗室內不同區域裝有六塊危險氣體洩漏警報顯示板，如其中一塊面板觸動警報系統，用戶必須依照疏散程序立即離開實驗室。

2. 廢氫氟酸收集缸警報系統

廢氫氟酸收集缸警報系統設於納米系統製造實驗中心(清水灣)第二期的濕化工藝臺D及E之間。當收集缸內的廢氫氟酸超過一定水平時，將觸動警鐘和警示燈。用戶如遇上這種情況，應立即通知我們的職員。

3. 排氣故障警報面板

排氣故障警報面板設於納米系統製造實驗中心(清水灣)第二期的濕化工藝臺D及E之間。當偵測到任何排氣系統故障時，將觸動警鐘和警示燈，用戶應立即通知我們的職員。

4. 去離子水及中和警報系統

去離子水及中和警報系統設於納米系統製造實驗中心(清水灣)第二期的濕化工藝臺D及E之間，會發出多種警報。

去離子水系統警報：

• 去離子水缸高水位
• 去離子水缸低水位
• 系統故障

中和系統警報：

• 緩衝缸高水位
• 中和缸高水位
• 系統故障