工藝資訊

污染如何影響你的工作？

於納米系統製造實驗中心(清水灣)內進行的研究工作大致可分為十個研究領域：

1.深亞微米絕緣體上硅

2.顯示技術

3.微型電子機械系統

4.集成功率系統

5.先進封裝

6.先進工藝開發

7.傳感器技術

8.基因晶片

9.化合物半導體技術

10.新磁電子器件

一個人的美食可能對另一個人來說是毒藥。以上部分領域的項目所用到的材料會對其他項目構成嚴重污染風險。以金為例，它是封裝研究中不可缺少的材料，但卻可完全破壞CMOS器件 。

污染可以很容易和迅速地蔓延。例如，如果少量金污染了去除光刻膠的工藝槽，他們就很可能會被轉移到清洗工作臺，然後到高溫爐管，再到被相關設備處理的晶片。後然晶片會污染實驗室內其他設備和機器。事實上，情況很快就發展到失控的地步。

防止污染的最好方法，是每個人都時刻保持警惕並遵守指引。